外延片

外延片

外延(Epitaxial growth)是指在基板结晶上进行生长结晶,与最下面的基板结晶面整齐排列进行生长。

与基板同一物质生长的被称为同质外延生长,不同物质生长的被称为异质外延生长。外延生长形成的具有单结晶薄膜的基板晶片通常被称为外延晶片。

外延硅晶片作为二极管及晶体管等的元件、以及双极型及MOS型IC用途基板使用。

另外,多层外延片以及厚膜外延片也被多用于功率器件中,在各种各样电源产品的小型化以及节能化方面作出着贡献。

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E&M外延片

高品质定制外延晶片。

规格

Thinckness Resistivity
N-type epitaxial wafer
Sb,As-doped substrate to 130μm 0.01-80ohm
P-type epitaxial wafer
B-doped substrate to 130μm 0.01-80ohm
Special epitaxial and multi layer to 150μm to 150ohm