硅晶圆片产品

硅晶圆片

• E&M硅晶圆片

以独自的经验进行加工，提供本公司品牌的各种晶圆。
现在被众多制造商，大学，国家机构所使用。

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测试片

• E&M测试片

各种品类齐全，特别是6寸以下产品，我们可以满足广泛领域的需求。 并保证以让客户满意的质量提供粒子确认以及流程确认用途的测试片。

• 尺寸 2-12寸

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正片

• E&M正片

主要提供P+N+(重掺片)，可以制各种型号。

• 大小 3-6寸

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FZ晶片

• E&MFZ晶片

以面向高周波IC以及MEMS为首，我们还可以提供面向功率器件，太阳能电池的中性子照射NTD晶圆片，以及摻杂不纯物质的FZ硅晶圆片。 从开发研究到量产，在广泛领域里为您提供产品服务。

• 尺寸：～8寸

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外延片

• E&M外延片

Epi层标准式样例

• Standard specification of epitaxial layer
• 

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镀膜片

• E&M镀膜片

提供金属膜，热氧化膜等，各种成膜。

• 大小 2-12寸

（参考例）

• 热氧化膜,Si₃N₄膜,TEOS,BPSG,Cu膜,Al膜,Ti膜,Ta膜,TaN膜,TiN膜等．
• 关于光刻法加工，可按照您的要求。

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其他,特殊片

• E&M其他,特殊片

可提供诸如厚100微米, 特殊晶向(110)面，镭射标记加工等用于研究的特殊型号片(可少量订制)

• 大小 2-6寸

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