シリコンウェハ 取り扱い製品

シリコンウェハ

• E&Mのシリコンウェハの特長

弊社は独自のノウハウにて加工(一貫加工)を行い、自社ブランドの各種シリコンウェハをご提供致しております。
現在、数多くのメーカー様や大学・官公庁様にご使用頂いております。

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モニターウェハ

• E&Mのモニターウェハの特長

各種取り揃え、特に6インチ以下につきましては、幅広いニーズにお応え致しております。パーティクルチェック、プロセスチェック用モニターとしてご満足頂ける品質を保証致します。

• サイズ：2～12インチ

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ダミーウェハ

• E&Mのダミーーウェハの特長

各種取り揃え、特に6インチ以下につきましては、幅広いニーズにお応え致しております。搬送チェック、プロセスチェック用ダミーとして、ご満足頂ける品質を保証致します。

• サイズ：2～12インチ

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プライムウェハ

• E&Mのプライムウェハの特長

主にP＋N+（ハイドープ）品をご提供、 カスタム仕様にお応え致しております。

• サイズ：3～6インチ

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FZウェハ

• E&MのFZウェハの特長

高周波ICやMEMS向けを始めとして、パワーデバイス、太陽電池向けなどに中性子照射した NTDウェハや不純物ドーピングしたFZシリコンウェハをご提供致しております。
研究開発から量産まで幅広くご対応させて頂いております。

• サイズ：～8インチ

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エピウェハ

• E&Mのエピウェハの特長

高品質なカスタムエピタキシャルウェハをご提供致しております。

• エピ層の標準仕様一例
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膜付ウェハ

• E&Mの膜付ウェハの特長

メタル膜及び熱酸化膜等、各種の成膜についてのご要望にお応え致しております。

• サイズ：2～12インチ

（参考例）

• 熱酸化膜,Si3N4膜,TEOS,BPSG,Cu膜,Al膜,Ti膜,Ta膜,TaN膜,TiN膜Etc．
• フォトリソ加工についても貴社オリジナルマスク作成から標準マスクでのパターン加工が可能。

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その他、特殊使用ウェハ

• E&Mのその他、特殊使用ウェハの特長

厚み100μｍ品、特殊面方位（110）面、ＬＭ加工など研究用途に合わせた特殊仕様ウェハを少量より対応、ご提供致しております。

• サイズ：2～6インチ

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