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SOI processed wafer

About SOI processed Wafer

Cavity patterned wafer

We offer cavity processing of handle layer and buried oxide etc.


  • 【Cavity processing of bulk silicon】
  • [Structure]

バルクシリコンへのキャビティ加工
  • 【Cavity processing of buried oxide】
  • [Structure]

Box層酸化膜へのキャビティ加工

Patterned SOI wafer

Various pattern process is available as follows.


  • 【Pattern process(1)】
  • [Structure]
  • Trench process of device layer

デバイス層のトレンチ加工
  • 【Pattern process (2)】
  • [Structure]
  • Trench process of device layer and handle layer

デバイス層とハンドル層の両面トレンチ加工
  • 【Pattern process (3)】
  • [Structure]
  • Two-stage trench process

2段トレンチ加工