测试片
测试片
- Monitor wafer是指，在进行正式的集成电路制造之前，各道制造工序中实施必要的调整时所使用的晶圆片。
例如，针对基板厚度变化，测量设备公差范围等，各工序，各种条件设定下，使用成本低廉的Monitor wafer来代替高规格、高成本的晶圆片。
除此之外，作为监视用途与晶圆产品一同在各工序流动。它是一种与产品中使用的Prime wafer并列的必要的晶圆材料。
与Dummy wafer一起也被称为测试片。 
E&M测试片
各种品类齐全，特别是6寸以下产品，我们可以满足广泛领域的需求。 并保证以让客户满意的质量提供粒子确认以及流程确认用途的测试片。
- 尺寸：2-12寸