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SOI晶圆片加工品

SOI晶圆片加工品

Cavity Patterned加工品

可进行Box层， Handle层等 Cavity加工。


  • 【块硅 Cavity加工】
  • [构造]

块硅 Cavity加工
  • 【Box层氧化膜Cavity加工】
  • [构造]

Box层氧化膜Cavity加工

Pattern加工SOI晶圆片

可进行各种Pattern加工。参见以下各例。


  • 【Pattern加工1】
  • [构造]
    device层的trench加工

デバイス層のトレンチ加工
  • 【Pattern加工2】
  • [构造]
    device层和handle层的两面trench加工

デバイス層とハンドル層の両面トレンチ加工
  • 【Pattern加工3】
  • [构造]
    两段trench加工

2段トレンチ加工