Al2O3(サファイア)
Al2O3(サファイア)とは
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酸化アルミニウム（さんかアルミニウム、英語: Aluminium Oxide）は、化学式がAl2O3で表されるアルミニウムの両性酸化物です。
通称はアルミナ（α-アルミナ）で、天然にはコランダム、ルビー、サファイアとして産出され、主に金属アルミニウムの原料として使われるほか、硬度を生かして研磨剤、高融点を生かして耐火物としての用途もあります。
半導体用途に使用されるサファイア(Sapphire)単結晶はCZ法、キロプロス法、EFG法などにより作られ、サファイアウエハーは光学デバイスとしてのLED用基板、レーザー用基板として使用されています。
また、紫外線領域から赤外線領域まで広い周波数範囲で高い透過率を示すために、光学用窓材としても利用されています。 
E&MのAl2O3合成単結晶サファイア基板ウェハの特長
サファイア基板は低誘電率と結晶特性によって優れた素材です。
2インチ,3インチ,4インチのエピレディ基板,標準方位品及び顧客仕様の
(オフ方位品,両面研摩,各種厚み)商品をご提供致します。
【主なアプリケーション】
- 青色LED 用途（青、白、緑、紫LED） 窒化ガリウム結晶成長用基板 等
スペック
| 直径 | 2インチ-4インチ |
| 面方位 | C(0001)0.2off±0.1°to m-axis |
| OF方位 | (11-20)±0.3° |
| OF長さ | 2インチ：16±0.5mm, 4インチ：30±1.0mm |
| 厚み | 2インチ：430um, 4インチ：650um |
| 仕上げ | 片面鏡面研磨 |
| Bow | ≦10um (2インチ) |
| TTV | ≦10um (2インチ) |