シリコンウェハ

シリコンウェハとは

シリコンウェハとは高純度な珪素(シリコン)のウェハであり、インゴットと呼ばれる円柱状の単結晶シリコンを薄くスライスしたものです。

基本的にチップサイズの大きなMPUや大量に生産してコストを低減する必要のあるDRAM、フラッシュメモリには大口径のウェーハが使用され、集積回路 (IC/LSI)の製造に最も多く使用されています。

半導体デバイス用シリコンウェハとしては、鏡面加工のポリッシュドウェハが使用されますが、その内容を細かく見るとポリッシュドウェハの中でも結晶欠陥COP(Crystal Originated Particle)の密度によっていくつかの水準に分けられるほか、エピウェハやFZウェハなどいくつかのバリエーションがあり、コスト、特性を勘案してデバイス製造に用いられています。

シリコンウエハーの大部分はCZ法によって製造されています。
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E&Mのシリコンウェハの特長

弊社は独自のノウハウにて加工(一貫加工)を行い、自社ブランドの各種シリコンウェハをご提供致しております。
現在、数多くのメーカー様や大学・官公庁様にご使用頂いております。