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膜付ウェハ

膜付ウェハとは

ウェハへ膜付加工しているものを膜付ウェハと呼びます。
ウェハーの成膜（膜を成長させる）には、層間絶縁材料としての絶縁膜、導電材料としての金属膜、その他レジストなどのプロセス材料や保護膜などがあります。

主な製法には、熱酸化法、CVD法(Chemical Vapor Deposition：化学気相成長法)、PVD法（Physical Vapor Deposition：物理気相成長法)があります。

熱酸化膜(SiO2)は拡散炉で成膜加工されるためにウェハ両面に成膜される一方、プラズマCVDやスパッタリング(PVD)などでは枚葉加工(1枚ずつの加工)のためウェハ片面への成膜となります。

製法によりそれぞれ特徴が異なるために、膜種により使い分けられています。
膜付ウェハ

E&Mの膜付ウェハの特長

メタル膜及び熱酸化膜等、各種の成膜についてのご要望にお応え致しております。

  • サイズ：2～12インチ
（参考例）
  • 熱酸化膜,Si3N4膜,TEOS,BPSG,Cu膜,Al膜,Ti膜,Ta膜,TaN膜,TiN膜Etc．
  • フォトリソ加工についても貴社オリジナルマスク作成から標準マスクでのパターン加工が可能。