化合物ウェハ
化合物ウェハとは
化合物半導体は複数の元素を材料にした半導体であり、主にⅢ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族、Ⅳ-Ⅳ族の組み合わせが挙げられます。
シリコン半導体に比べ材料が高価であることに加え、結晶の大型化が難しいことから、これまで半導体材料のほとんどはシリコンにより担われてきました。
一方で、化合物半導体ウェハは受発光や高速動作、磁電機能を保有していることから、発光ダイオード(LED)やレーザーダイオード(LD)、太陽電池、電界効果型トランジスタ、ホール素子などの用途に利用されます。
例えばLED用途には特性に応じて基板にサファイア、シリコンカーバイト（SiC）、ガリウム砒素（GaAs）、ガリウム燐(GaP) 、窒化ガリウム（GaN）などが用いられ、デバイス機能を作るために基板上に薄膜（エピタキシャル層）が形成されます。