SOIウェハ作成プロセス
SOIウェハ作成プロセスについて
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SOIウェハの作成方法には2種類あります。
- 作成方法１
- ハンドル層側にBox層を形成し、貼り合せデバイス層を研磨し作成。
- 作成方法２
- デバイス層側にBox層を形成し、貼り合せデバイス層を研磨し作成。
- 株式会社エレクトロニクスエンドマテリアルズコーポレーション
- シリコンウェハ、化合物ウェハ、SOIウェハ、ソーラー製品、LED製品、
各種半導体材料の輸入、販売を行っています。
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