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SOIウェハ加工品

SOIウェハ加工品製品概要

キャピティーパターン加工ウェハ

Box層、ハンドル層などへのキャビティー加工が可能。


  • 【バルクシリコンへのキャビティ加工】
  • [構造]

バルクシリコンへのキャビティ加工
  • 【Box層酸化膜へのキャビティ加工】
  • [構造]

Box層酸化膜へのキャビティ加工

パターン加工SOIウェハ

各種パターン加工可能。下記のような各種パターン加工が作成可能です。


  • 【パターン加工(1)】
  • [構造]
  • デバイス層のトレンチ加工

デバイス層のトレンチ加工
  • 【パターン加工(2)】
  • [構造]
  • デバイス層とハンドル層の両面トレンチ加工

デバイス層とハンドル層の両面トレンチ加工
  • 【パターン加工(3)】
  • [構造]
  • 2段トレンチ加工

2段トレンチ加工