ダミーウェハ

ダミーウェハとは

ダミーウェハ(テストウェハとも言われる)とは、通常の製品用ウェハとは違い、おもに実験や検査用に使用されるウェハのことを指します。 そのため、ダミーウェハ(テストウェハ)には再生ウェハも多く使用されています。 製造装置では初期に製造過程の安定性を上げるために投入されることも多く、搬送チェックや加工形状の評価においても使用されます。 実験やテストとしての使用が多いため、サイズや厚みが重要であることが多いです。 工程ごとにダミーウェハ(テストウェハ)で膜厚、耐圧、光の屈折率、ピンポールの有無などを測定し、リソグラフィなら、パターン寸法や欠陥の有無の測定などにダミーウェハ(テストウェハ)を用います。

各種取り揃え、特に6インチ以下につきましては、幅広いニーズにお応え致しております。搬送チェック、プロセスチェック用ダミーとして、ご満足頂ける品質を保証致します。