InP

InPとは

リン化インジウム(リンかインジウム、Indium Phosphide)、別名インジウム燐(インジウムりん)はインジウムとリンの化合物です。

InP単結晶基板は、GaAsやGaPに比べると大きな格子定数を有するため、基板に格子整合する(格子定数が同じとなる)InGaAs、AlInAs、InGaAsP、AlGAlNAsといった材料をエピタキシャル成長することが可能となります。

これらの材料を組み合わせることで、光通信用の受発光デバイスや、超高速トランジスタ、共鳴トンネリングダイオードなどの作成が可能となります。

E&MのInPウェハの特長

お客様のご要望仕様に基づき、少量の研究開発から量産までお客様のニーズに応じたご対応をさせて頂きます。
また、特殊面方位品の(111),(110),(311)等も取り扱っております。

スペック

製法 LEC
タイプ N型/Sn,Fe,S,Un-doped, P型/Zn
直径 2インチ
面方位 (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能
仕上げ 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、
その他仕上げも可能
厚み 2インチ:350/500um, その他厚みもご相談に応じます
その他 キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能