InAs
InAsとは
IIIーV族元素化合物であるInAs ( Indium Arsenide)、インジウム砒素はLEC法によって単結晶が作られる。
単結晶インゴットから薄くスライスされ、EPI ready 研磨されたウエハー基板はエピタキシャル層を施すことにより、赤外線検出素子として計測・分析などの分野に幅広く利用されています。
単結晶インゴットから薄くスライスされ、EPI ready 研磨されたウエハー基板はエピタキシャル層を施すことにより、赤外線検出素子として計測・分析などの分野に幅広く利用されています。
E&MのInAsウェハの特長
お客様のご要望仕様に基づき、少量の研究開発から量産までお客様のニーズに応じたご対応をさせて頂きます。
また、特殊面方位品の(111),(110),(311)等も取り扱っております。
また、特殊面方位品の(111),(110),(311)等も取り扱っております。
スペック
製法 | LEC |
タイプ | N型/S,Un-doped, P型/Zn |
直径 | 2インチ-3インチ |
面方位 | (100)・(110)・(111)~(611) その他オフなども可能 |
仕上げ | 片面鏡面研磨、両面鏡面研磨、エピレディー処理、 その他仕上げも可能 |
厚み | 2インチ:500um, 3インチ:625um その他厚みもご相談に応じます |
その他 | キャリア濃度、抵抗率、移動度等は許容範囲内にて指定可能 |